准分子激光气体-混合气体-硫化氢_高纯硫化氢气体生产厂家-淄博迪嘉特种气体有限公司

序号	迪嘉特气准分子激光气汇总
1	Mix（混合气）25-16L-2000psi F2 0.23% + Ar 10.38% + He 64.39% + Ne 25%
2	Mix（混合气）62-16L-2000psi F2 0.28% + Ar 8.30% + He 29.22% + Ne 62.2%
3	Mix（混合气）10L-2000psi Ne 98% + Xe + HCl(低于 0.1%)
4	Mix（混合气）16L-2000psi ArF 193nm + KrF 248nm + XeCl 308nm + XeF450nm~520nm