六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体，它的分子量为146.07，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍。

六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，常压下升华点温度为-63.8℃。

六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。

六氟化硫气体广泛用于高压，中压电气设备的绝缘材料和减弧介质；金属冶炼制造工艺的防氧化剂，气象示踪实验和示踪剂，制冷工艺的制冷剂和热载体。

同时在医疗上用于X一射线装置的绝缘体。还可用于制造单晶硅以及基础理论科学研究等